沖縄県うるま市に所在する、2004年設立・社会保険被保険者数57名の製造業（半導体・電子部品）企業。
- 所在地
- 〒904-2311 沖縄県 うるま市 勝連南風原５１９２番地８
- 法人番号
- 7013401005080
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沖縄県うるま市に所在する、2004年設立・社会保険被保険者数57名の製造業（半導体・電子部品）企業。
法人向け（製造業・教育・研修・公共・行政）行政向け
2026年3月時点
業種・対象顧客は公開情報をもとに AI が推定したものです。持株会社など グループ経営の会社では、主要な事業会社の業種を表示します。実態と 異なる場合はお問い合わせください。
株式会社ナノシステムソリューションズは、独自の光学技術と画像処理技術を中核に、半導体製造装置・検査装置、光学関連機器、画像取込・解析機器の開発・設計、製造、販売、メンテナンスを手掛ける研究開発型企業である。同社の製品群には、位相シフトマスクやバイナリマスクの製造に用いる半導体マスクライター、DMDによる縮小投影方式を採用したマスクレス露光装置、シリコンウェーハやガラス基板の外部・内部欠陥を検出する外観検査装置、化合物半導体向けインテリジェントエッジ研磨装置がある。半導体メーカー、電子部品・ディスプレイ関連企業に加え、大学や公的研究機関の研究開発用途にも対応し、マスクレス露光装置は60機の納入実績を持つ。 マスクレス露光装置は、最小画素1μmの描画、重ね合わせ露光、グレースケール露光、厚膜レジストへの三次元加工などに対応し、半導体、MEMS、フラットパネルディスプレイ、LED、マイクロ流体デバイスの試作・製造に利用される。検査・計測分野では、光学技術と画像処理を組み合わせ、Siウェーハの平坦度や結晶欠陥、基板表面の状態を評価する。沖縄本社工場にはクラス100・1000のクリーンルーム、走査電子顕微鏡、レーザー顕微鏡、フィゾー干渉計、膜厚測定器などを備え、23℃±0.03℃の恒温環境で精密装置を製造する。 装置販売と保守を収益の柱としながら、自社製の露光装置およびレーザ加工装置を利用した受託加工も事業化している。精密金型、サファイアを含む特殊ガラスの加工に加え、パルス幅をピコ秒からナノ秒まで可変できるFiber MOPA Laserを基盤として、穴あけ、スクライビング、ダイシング、マーキング向けの単機能レーザ装置を設計・販売する。材料物性、光学設計、精密機械設計、ソフトウェア開発を組み合わせ、顧客の加工仕様に応じてレーザ加工条件や装置構成を設計できる点を強みとする。
2026年8月15日 時点。この概要は AI を利用して公開情報から抽出しています。事実と異なる箇所がある場合は お問い合わせください。
純利益
5.1億円
総資産
59億円
社会保険被保険者数
57人 · 2026年9月
34期分（2023/12〜2026/09）
被保険者数 前年同月比
+5.6% · 2026年9月
前年同月 54人（2025年9月）→ 57人（+3人）
ROE単体
21.95% · 2026年3月
7期分（2020/03〜2026/03）
ROA単体
8.78% · 2026年3月
7期分（2020/03〜2026/03）
自己資本比率単体
39.99% · 2026年3月
7期分（2020/03〜2026/03）
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ザインエレクトロニクス株式会社上場
株式会社フェローテック上場
レーザーテック株式会社上場
日本電子材料株式会社上場
トレックス・セミコンダクター株式会社上場
アプライドマテリアルズジャパン株式会社
マイポックス株式会社上場
株式会社ニックス上場
純利益
5.1億円
総資産
59億円
株式会社ナノシステムソリューションズは特許8件を保有しています。特許は半導体などの分野が中心です。
特許
8件
審査中・消滅含む 44件
登録・現存
8件
審査中
1件
満了
1件
消滅
19件
拒絶・取下げ
15件
ＥＵＶマスクブランクス検査装置登録2025・請求項6項
ＥＵＶ以外の照射で良好に多層膜の欠陥を検出することができるＥＵＶマスクブランクス検査装置
ウエハー検査装置登録2025・請求項11項
１つの光線で様々な種類の不具合を検出することができるウエハー検査装置
データ基準日: 2026年8月20日確認分
産業分野: 計測機器（現存3）・電気工学（現存3）・機械工学（現存1）
ウェーハエッジ及びウェーハ裏面加工装置登録2014・請求項5項
ウェーハの研磨とウェーハエッジのクラック除去を一体的に行うことができるウェーハエッジ及びウェーハ裏面加工装置
露光方法及び露光装置登録2012・請求項8項
パターンエッジを滑らかに露光することができる露光方法
